本发明提供一种冷却托盘及其加工方法和用途，所述冷却托盘为仿水滴形，包括内圆盘和环绕在内圆盘外的仿水滴外环，仿水滴外环设置有环绕内圆盘的圆心均匀分布的钻孔，钻孔从上到下依次设置有方形通孔、第一圆形通孔和第二圆形通孔，仿水滴外环的尖端设置有圆形铣槽，圆形铣槽设置在冷却托盘的反面，圆形铣槽上设置有环绕圆形铣槽的圆心均匀分布的第三圆形通孔，圆形铣槽上设置有环绕圆形铣槽的圆心均匀分布的螺孔，所述冷却托盘用来与其他组合件配合，形成一个平台，在半导体芯片制造过程中起到冷却作用，所述冷却托盘通过计算机数字控制机床加工分步骤进行制备，满足对冷却托盘的外形尺寸和平面度的严格要求，能够保证方法要求。