用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置
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摘要

本发明公开了一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置,其用于清理石墨加热器,包括底座、环形旋转件、内壁清理机构、外壁清理机构和吸尘机构,环形旋转件设置于所述底座上,其上设置有用于固定石墨加热器的固定部,其接受驱动以自转;内壁清理机构包括多个竖向布置的第一条状清理构造,其固定于所述环形旋转件的内侧;外壁清理机构包括多个竖向布置的第二条状清理构造,其固定于所述环形旋转件的外侧;吸尘机构的抽吸口位于所述内壁清理机构和外壁清理机构之间。本发明提供的用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置,通过内壁清理机构和外壁清理机构实现对石墨加热器自动清理,不需要操作人员手工清理,提升清理效率。

基本信息
专利标题 :
用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113020165A
申请号 :
CN202110284872.5
公开(公告)日 :
2021-06-25
申请日 :
2021-03-17
授权号 :
CN113020165B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
刘永龙杜学敏常永强张治国
申请人 :
呼和浩特市洪润环祥科技有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市金桥开发区阿木尔南街中晶研究院办公楼一层
代理机构 :
深圳市兴科达知识产权代理有限公司
代理人 :
覃曼萍
优先权 :
CN202110284872.5
主分类号 :
B08B9/087
IPC分类号 :
B08B9/087  B08B15/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器,如槽的清洗
B08B9/087
包括使用工具,如刷子、刮刀的方法的
法律状态
2022-04-29 :
授权
2021-07-13 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 9/087
申请日 : 20210317
2021-06-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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