一种直拉硅单晶生长的热场结构
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种直拉硅单晶生长的热场结构,包括炉体、炉体内设置的石英坩埚和加热器,炉体侧壁下部设置有通孔,该通孔与抽气管道连通,抽气管道与机械泵相连接,炉体的顶部与氩气输送装置相连通,炉体的底部设置有炉底盘,炉底盘的上面自下而上依次安装有下保温罩、主保温罩和副保温罩,保温罩外侧均包裹有保温材料,保温材料与炉体的内侧壁之间留有空隙,副保温罩的侧壁设置有排气孔,该排气孔将热场内部和保温材料与炉体的内侧壁之间的空隙连通。避免了“掉渣”现象的发生,提高成品率,并可防止大量挥发物进入抽气管道和机械泵,减轻对机械泵的磨损,延长使用寿命,节约清洗抽气管道和机械泵的时间,提高生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种直拉硅单晶生长的热场结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820028427.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-03-03
授权号 :
CN201162060Y
授权日 :
2008-12-10
发明人 :
李振国李定武
申请人 :
西安隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
申请人地址 :
710065陕西省西安市电子西街3号101楼
代理机构 :
西安弘理专利事务所
代理人 :
罗笛
优先权 :
CN200820028427.2
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2018-03-27 :
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : C30B 15/00
申请日 : 20080303
授权公告日 : 20081210
申请日 : 20080303
授权公告日 : 20081210
2014-09-17 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101705292570
IPC(主分类) : C30B 15/00
专利号 : ZL2008200284272
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 西安隆基硅材料股份有限公司
变更后权利人 : 宁夏隆基硅材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710065 陕西省西安市电子西街3号101楼
变更后权利人 : 755100 宁夏回族自治区中卫市中宁县新堡镇团结南路
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20140826
号牌文件序号 : 101705292570
IPC(主分类) : C30B 15/00
专利号 : ZL2008200284272
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 西安隆基硅材料股份有限公司
变更后权利人 : 宁夏隆基硅材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710065 陕西省西安市电子西街3号101楼
变更后权利人 : 755100 宁夏回族自治区中卫市中宁县新堡镇团结南路
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20140826
2009-01-07 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 西安隆基硅材料有限公司
变更后权利人 : 西安隆基硅材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 陕西省西安市电子西街3号101楼,邮编 : 710065
变更后权利人 : 陕西省西安市电子西街3号101楼,邮编 : 710065
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
变更后权利人 : 西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
变更前权利人 : 西安隆基硅材料有限公司
变更后权利人 : 西安隆基硅材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 陕西省西安市电子西街3号101楼,邮编 : 710065
变更后权利人 : 陕西省西安市电子西街3号101楼,邮编 : 710065
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
变更后权利人 : 西安矽美单晶硅有限公司;西安隆基硅技术有限公司
2008-12-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN201162060Y.PDF
PDF下载