本发明涉及一种制备高纯三氟化氮气体的方法及装置，属于三氟化氮气体制备技术领域。所述方法是采用电解法制备的NF₃电解气依次进行二级裂解、冷却、水洗、还原、碱洗、除水以及二级精馏，在合适的工艺条件下，可以得到纯度在99.995vol％以上的高纯NF₃气体，该方法操作安全，冷却介质消耗量少，成本低。另外，所述装置包括电解槽、一级裂解塔、二级裂解塔、第一缓冲罐、冷却器、第二缓冲罐、水洗塔、还原塔、碱洗塔、水环压缩机、除水塔、隔膜压缩机、一级精馏塔、二级精馏塔以及充装系统，该装置结构简单，运行安全性高，可操作性强，运行费用低，适用于大规模生产，应用前景广阔。