微纳结构图形试样的高速跟踪方法,包括计算机、照明成像模块、二向色棱镜、调焦机构、压电陶瓷、物镜、待跟踪的微纳结构图形试样、工件台、探测器、象散模块、分光模块、扩束镜、激光器和控制器。将待跟踪的微纳结构图形试样放置于工件台上，通过调焦机构的上下移动，使得待跟踪的微纳结构图形试样的表面在照明成像模块清晰成像。调节扩束镜，使得激光器发出的激光聚焦在待跟踪的微纳结构图形试样的表面，同步控制工件台与控制器，完成待跟踪的微纳结构图形试样的运动与跟踪。本发明微纳结构图形试样的高速跟踪方法可以高速、高精度、高灵敏度的对微纳结构图形试样进行自动跟踪，保证微纳结构图形清晰成像，为后续的读取与检测提供保证。