本发明公开的基于超颖表面产生实空间与K空间艾里光束阵列的方法，属于微纳光学领域。本发明采用仿真方法对纳米天线进行模拟计算，通过调整纳米柱阵列的尺寸与方位角分布，即实现对出射艾里光束的传播距离、传播轨迹进行精确有效调控，挑选得到满足超颖表面组成需求的纳米天线。确定纳米柱单元几何尺寸后，根据产生实空间与K空间艾里光束阵列的相位分布算法，得到覆盖0到2π相位纳米柱阵列的尺寸与方位角分布，即确定每个纳米柱单元的尺寸与旋转角度，编码生成相应介质超颖表面结构的加工文件。利用加工文件，采用微纳加工工艺加工宽带介质超颖表面，当入射不同的圆偏振光束，得到在实空间与K空间的艾里光束阵列，显著提高器件并行工作效率。