传送盒清洗室
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种传送盒清洗室，包括：清洁室，其具有入口门，且容纳被移送的传送盒以进行清洗；干燥室，其具有出口门，且干燥从上述清洁室移送的上述传送盒；开关，其配置在上述清洁室和上述干燥室之间用以进行升降；及室移动部，其将上述传送盒从上述清洁室移送至上述干燥室。
基本信息
专利标题 ：
传送盒清洗室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114512418A
申请号 ：
CN202110521867.1
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-05-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴永秀许东根李基万
申请人 ：
系统科技公司
申请人地址 ：
韩国京畿道安城市
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
吕琳
优先权 ：
CN202110521867.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/673 H01L21/02 B08B3/02 B08B3/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20210513
申请日 : 20210513
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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