无存储模块的湿度传感器芯片

授权

摘要

本发明揭示了一种无存储模块的湿度传感器芯片，该湿度传感器芯片包括湿度敏感模块、测量电路模块、微处理单元MCU；湿度敏感模块包括湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极；湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极构成三电极结构的湿度敏感型电容‑‑电阻复合结构；第一电极、湿度敏感材料、第二电极构成湿度敏感电阻（湿敏电阻）结构，湿度敏感材料作为湿度敏感电阻（湿敏电阻）的湿度敏感材料；所述衬底是具备压电效应的晶体材料。

基本信息

专利标题：

无存储模块的湿度传感器芯片

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113588727A

申请号：

CN202110531383.5

公开（公告）日：

2021-11-02

申请日：

2020-01-07

授权号：

CN113588727B

授权日：

2022-04-05

发明人：

尹海宏施天宇王志亮宋长青印川赵晨媛

申请人：

南通大学

申请人地址：

江苏省南通市崇川区啬园路9号

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司

代理人：

范丹丹

优先权：

CN202110531383.5

主分类号：

G01N27/12

IPC分类号：

G01N27/12 G01N27/22 C23C14/04 C23C14/14