地址线的测试样品及其测试方法
授权
摘要

本申请实施例公开了一种地址线的测试样品及其测试方法,方法包括:提供具有裸露的地址线层的半导体结构;地址线层包含多条均沿第一方向延伸且相距第一距离的地址线;在其中一条地址线的至少一侧形成标记;形成覆盖地址线的绝缘层;基于标记,确定地址线层中的第一区域、第二区域、第三区域以及第四区域;其中,第一区域与第二区域的连线与第一方向平行;第三区域与第四区域分别位于第一区域的两侧,且第一区域与第三区域及第四区域沿与第一方向垂直的第二方向的间距均为第一距离;去除覆盖第一区域、第二区域、第三区域、第四区域的部分绝缘层;根据第一区域、第二区域、第三区域、第四区域间的电流情况,确定第一区域对应的地址线的引出情况。

基本信息
专利标题 :
地址线的测试样品及其测试方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113345509A
申请号 :
CN202110570174.1
公开(公告)日 :
2021-09-03
申请日 :
2021-05-25
授权号 :
CN113345509B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
闪洁
申请人 :
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
高洁
优先权 :
CN202110570174.1
主分类号 :
G11C29/18
IPC分类号 :
G11C29/18  H01L21/66  H01L23/544  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G11
信息存储
G11C
静态存储器
G11C29/00
存储器正确运行的校验;备用或离线操作期间测试存储器
G11C29/04
损坏存储元件的检测或定位
G11C29/08
功能测试,例如,在刷新、通电自检或分布型测试期间的测试
G11C29/12
用于测试的内置装置,例如,内置的自检装置
G11C29/18
地址形成装置;访问内存装置,例如,寻址电路的零部件
法律状态
2022-05-13 :
授权
2021-09-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G11C 29/18
申请日 : 20210525
2021-09-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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