采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品
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摘要
本发明涉及一种采用FIB制备测试样品的方法及一种测试样品，所述方法包括：提供具有一目标层的预处理样品，所述目标层具有相对的第一表面和第二表面；将所述预处理样品固定于样品台；沿朝向所述目标层第一表面和/或第二表面的方向，采用离子束对所述预处理样品进行第一减薄，将所述预处理样品厚度减薄至预设厚度；形成贯穿所述预处理样品的若干通孔；继续对形成有所述通孔的预处理样品进行第二减薄，直至将所述目标层减薄至目标厚度。上述方法可以避免目标层在减薄过程中产生形变。
基本信息
专利标题 ：
采用FIB制备测试样品的方法以及测试样品
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110553885A
申请号 ：
CN201910972840.7
公开（公告）日 ：
2019-12-10
申请日 ：
2019-10-14
授权号 ：
CN110553885B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
刘婧周阳
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董琳
优先权 ：
CN201910972840.7
主分类号 ：
G01N1/28
IPC分类号 ：
G01N1/28 G01N23/2202 G01N23/2005
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-01-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 1/28
申请日 : 20191014
申请日 : 20191014
2019-12-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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