组合样品及其制备方法

授权

摘要

本申请实施例公开了一种组合样品及其制备方法，其中，制备方法包括：将样品承载部放置于承载台上；所述样品承载部包括基底和至少一个格栅，所述栅格位于所述基底背离所述承载台的一侧；在所述格栅中形成凹槽；所述凹槽具有第一侧壁，所述第一侧壁与所述基底垂直；将待减薄样品粘贴于所述凹槽的第一侧壁上，得到组合样品；所述待减薄样品的粘贴面与所述基底呈第一预设角度，所述第一预设角度为锐角；利用聚焦离子束，对所述待减薄样品进行减薄处理。

基本信息

专利标题：

组合样品及其制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113466268A

申请号：

CN202110734404.3

公开（公告）日：

2021-10-01

申请日：

2021-06-30

授权号：

CN113466268B

授权日：

2022-06-07

发明人：

董旭林郭伟

申请人：

长江存储科技有限责任公司

申请人地址：

湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司

代理人：

徐雯

优先权：

CN202110734404.3

主分类号：

G01N23/20008

IPC分类号：

G01N23/20008 G01N23/04 G01N23/20025 G01N23/20058 G01N1/28