顶针安装治具及方法
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摘要
本公开是关于一种顶针安装治具及方法，所述顶针安装治具用于安装静电卡盘上的顶针，包括：定位托盘，可拆卸地设置在静电卡盘的外侧底座上，所述定位托盘设置有安装孔，所述安装孔与静电卡盘上的顶针的安装位置对应设置；安装治具，可拆卸地安装于所述安装孔以调节顶针的安装深度。本公开实施例同时保证顶针的顺利安装和安装效率，可以精确调节顶针的安装深度，保证各顶针的安装深度的一致性，确保顶针所支撑的半导体器件的位置稳定性，避免产生加工误差或报废，提高生产的良品率。
基本信息
专利标题 ：
顶针安装治具及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113414737A
申请号 ：
CN202110780924.8
公开（公告）日 ：
2021-09-21
申请日 ：
2021-07-09
授权号 ：
CN113414737B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
郑分成
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
北京名华博信知识产权代理有限公司
代理人 ：
李俊红
优先权 ：
CN202110780924.8
主分类号 ：
B25B27/00
IPC分类号 ：
B25B27/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B27/00
不包含在其他类目中的，专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2021-10-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25B 27/00
申请日 : 20210709
申请日 : 20210709
2021-09-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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