基于体全息的三维检测系统、方法、控制器及介质

授权

摘要

本发明用于工业检测领域，涉及半导体领域，公开了一种基于体全息的三维检测系统、方法、控制器及介质，其中，基于体全息的三维检测系统包括散斑图像生成系统、体全息光学相关器和目标检测系统，散斑图像生成系统用于获取三维目标检测物的三维目标散斑图像；体全息光学相关器用于存储不同深度的多个散斑模板图像，并根据多个散斑模板图像对三维目标散斑图像进行体全息相关运算，以输出三维目标检测物的体全息相关图像；目标检测系统用于对三维目标散斑图像的体全息相关图像进行三维检测；本发明中，利用体全息技术完成信息量庞大的三维目标图像相关运算，可将复杂的运算过程以光学方式瞬时完成，从而减少运算成本，进而提高半导体三维检测效率。

基本信息

专利标题：

基于体全息的三维检测系统、方法、控制器及介质

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113485082A

申请号：

CN202110910486.2

公开（公告）日：

2021-10-08

申请日：

2021-08-09

授权号：

CN113485082B

授权日：

2022-05-31

发明人：

何良雨刘彤张文刚

申请人：

锋睿领创（珠海）科技有限公司

申请人地址：

广东省珠海市横琴新区环岛东路1889号创意谷18栋110室-534（集中办公区）

代理机构：

深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄章辉

优先权：

CN202110910486.2

主分类号：

G03H1/00

IPC分类号：

G03H1/00 G03H1/08 G03H1/04