真空阀及推断装置
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种真空阀及推断装置,可精度良好地推断测量延迟量,从而可更适当地进行调压控制。真空阀包括:阀主体,装设于真空泵与真空腔室之间;调压控制部,基于由真空计测量的真空腔室的压力测量值,对阀主体的阀体开度进行控制;以及推断部,基于包含压力测量值的二阶微分项且表示真空排气系统相对于真空腔室的有效排气速度与压力测量值的关系的排气式子、以及在使阀体开度阶段变化时的压力响应中测量的压力测量值,推断相对于真空腔室的压力的压力测量值的测量延迟时间,调压控制部基于由推断部推断的测量延迟时间,对阀体开度进行控制。

基本信息
专利标题 :
真空阀及推断装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114542779A
申请号 :
CN202110958305.3
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-08-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
小崎纯一郎
申请人 :
株式会社岛津制作所
申请人地址 :
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
薛恒
优先权 :
CN202110958305.3
主分类号 :
F16K31/02
IPC分类号 :
F16K31/02  F16K37/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K31/00
操作装置;释放装置
F16K31/02
电力的;磁力的
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 31/02
申请日 : 20210820
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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