掩模版辅助静态图像测量装置及掩模版静态图像测量系统

授权

摘要

本发明属于尺寸测量技术领域，尤其涉及一种掩模版辅助静态图像测量装置及掩模版静态图像测量系统，其中，掩模版辅助静态图像测量装置包括：载物台，包括由透光材料制成并用于支撑掩模版的支撑结构；光源组件，包括左侧平行光源板、右侧平行光源板、前侧平行光源板、后侧平行光源板和底面平行光源板；反射吸光结构，设于掩模版的四周。本发明通过一次图像静态图像获取测量，即可自动计算并测量出掩模版的外形尺寸、掩模版上的掩模图形到掩模版外边缘的距离，测量速度快、效率高，且属于无接触测量，不会划伤掩模版外表面。

基本信息

专利标题：

掩模版辅助静态图像测量装置及掩模版静态图像测量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113758420A

申请号：

CN202111052415.X

公开（公告）日：

2021-12-07

申请日：

2021-09-08

授权号：

CN113758420B

授权日：

2022-06-14

发明人：

侯广杰叶小龙黄执祥谢超

申请人：

深圳市龙图光电有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区沙井街道新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房一楼

代理机构：

深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

欧志明

优先权：

CN202111052415.X

主分类号：

G01B11/00

IPC分类号：

G01B11/00 G01B11/24