掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机

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摘要

本发明实施例公开了一种掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机。该掩模开口尺寸测量方法包括：对当前进行拉伸的掩模版进行图像采集，形成当前图像采集结果，所述掩模版包括掩模开口；基于所述当前图像采集结果，确定所述掩模版上当前所述掩模开口的几何中心；基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸，以有效判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。

基本信息

专利标题：

掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112648920A

申请号：

CN201910967774.4

公开（公告）日：

2021-04-13

申请日：

2019-10-12

授权号：

CN112648920B

授权日：

2022-05-24

发明人：

肖蓉邓帅飞李运锋周许超

申请人：

上海微电子装备(集团)股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN201910967774.4

主分类号：

G01B11/00

IPC分类号：

G01B11/00 G03F1/44 H01L21/033 H01L21/66