利用多点自动对焦将光学组件部分的光轴对准为垂直于工件表面...
实质审查的生效
摘要
一种计量系统，包括光学组件部分；调整机构，其被配置为改变光学组件部分和工件表面之间的距离和角度取向；和处理器，其配置为控制调整机构移动光学组件部分，以将工件表面定位在焦点Z自动对焦范围内；捕获工件表面的图像堆叠，其中图像堆叠的每个图像对应于不同的自动对焦高度；确定工件表面的至少三个位置的自动对焦高度；基于自动对焦高度控制调整机构以使光学组件部分相对于工件表面旋转，使光学组件部分的光轴与工件表面的表面法线名义上对齐，并调整光学组件部分与工件表面之间的距离；并在工件表面上执行限定的操作。
基本信息
专利标题 ：
利用多点自动对焦将光学组件部分的光轴对准为垂直于工件表面的系统和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326140A
申请号 ：
CN202111140698.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
C.E.埃特曼
申请人 ：
株式会社三丰
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
贺紫秋
优先权 ：
CN202111140698.3
主分类号 ：
G02B27/62
IPC分类号 ：
G02B27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
G02B27/62
组装光学系统过程中专用于调节光学元件的光学仪器
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 27/62
申请日 : 20210928
申请日 : 20210928
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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