用于从胺中去除金属物种的膜
实质审查的生效
摘要

本申请案涉及用于从胺中去除金属物种的膜。本公开内容涉及从流体中去除金属污染物,以及用于实施此类方法的配体改性过滤材料。本公开的过滤器及方法对于从包含胺的液体组合物中去除金属特别有效。此类金属量明显减少的液体组合物可用于微电子制造工艺,例如用于去除光致抗蚀剂的液体或蚀刻中所使用的液体。配体改性过滤器(例如配体改性多孔膜)可经配置用于微电子制造系统,所述配体改性过滤器可作为对进入所述系统的液体使用金属去除特征的点用于所述系统中。

基本信息
专利标题 :
用于从胺中去除金属物种的膜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114377565A
申请号 :
CN202111149755.4
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-09-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
J·哈姆齐克J·布鲁斯特S·桑帕斯J·A·贾比尔A·A·米尔
申请人 :
恩特格里斯公司
申请人地址 :
美国马萨诸塞州
代理机构 :
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 :
李婷
优先权 :
CN202111149755.4
主分类号 :
B01D71/60
IPC分类号 :
B01D71/60  B01D69/06  B01D63/08  C02F1/44  C08J7/12  C02F101/20  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D71/00
以材料为特征的用于分离工艺或设备的半透膜;其专用制备方法
B01D71/06
有机材料
B01D71/58
主链上有氮的,有或没有氧或只有碳的其他聚合物
B01D71/60
聚胺
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 71/60
申请日 : 20210929
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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