针测系统
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种针测系统，利用真空吸附晶圆，可调整其垂直距离进行针测，随探针在长时间使用后所造成的耗损，本发明的针测系统可自动调整真空吸嘴的高度，以达到最佳测试针压。
基本信息
专利标题 ：
针测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114518518A
申请号 ：
CN202111191497.6
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2021-10-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐文元杨棋名张思颖李宗柏余其龙
申请人 ：
汉民测试系统股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市埔顶路18号2楼之2
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
胡林岭
优先权 ：
CN202111191497.6
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20211013
申请日 : 20211013
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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