一种顶部抗反射涂层组合物
授权
摘要
本发明公开了一种顶部抗反射涂层组合物，该组合物的原料包括含氟聚合物、碱、表面活性剂及溶剂，且所述含氟聚合物的分子量控制在20‑80W之间，按重量份数计，各原料组分的投加量分别为含氟聚合物1‑10份、碱0‑10份、表面活性剂0.05‑10份、溶剂80‑95份。采用上述原料所制得的顶部抗反射涂层能确保光刻胶图形不会变形。
基本信息
专利标题 ：
一种顶部抗反射涂层组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113913060A
申请号 ：
CN202111212997.3
公开（公告）日 ：
2022-01-11
申请日 ：
2021-10-19
授权号 ：
CN113913060B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
马晓明王健
申请人 ：
苏州润邦半导体材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港保税区港澳路15号传感产业园一楼北侧106A室（润邦）
代理机构 ：
苏州启华专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐伟华
优先权 ：
CN202111212997.3
主分类号 ：
C09D127/12
IPC分类号 ：
C09D127/12 C09D7/63 G03F7/09
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D
涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用（化妆品入A61K，一般将液体或其他流动物料涂到表面上的方法入B05D；木材着色入B27K5/02；釉料或搪瓷釉入C03C；天然树脂、虫胶清漆、干性油、催干剂、松节油本身入C09F；除虫胶清漆外的抛光组合物、滑雪屐蜡入C09G；黏合剂或用作黏合剂的物质入C09J；用于接头或盖的密封或包装材料入C09K3/10；用于防止泄漏的材料入C09K3/12；电解或电泳生成镀层的方
C09D127/00
基于有1个或多个不饱和脂族基的化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以卤素为终端；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D127/02
未由化学后处理改性的
C09D127/12
含氟原子的
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2022-01-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09D 127/12
申请日 : 20211019
申请日 : 20211019
2022-01-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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