多孔玻璃基材的制造设备和制造方法
公开
摘要
本发明涉及多孔玻璃基材的制造设备和制造方法。提供可以抑制由气化的气体流量波动引起的条纹的多孔玻璃基材的制造设备和制造方法。多孔玻璃基材的制造设备包括多个沉积设备，该沉积设备通过在氢氧焰中由气化的原料化合物产生原料颗粒，然后将产生的原料颗粒沉积在旋转的开始材料上来制造多孔玻璃基材。制造设备包括至少一个贮存容器，至少一个蒸气发生机构，和至少一个气体通道。气体通道包括公共气体通道；和多个独立气体通道。多个独立气体通道各自具有控制气化的原料化合物的流量的流量控制器，控制气化的原料化合物分布的开/关(打开/关闭)的蒸气阀，和设置在流量控制器上游并且能够调节流道截面积的阀。
基本信息
专利标题 ：
多孔玻璃基材的制造设备和制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114477777A
申请号 ：
CN202111226057.X
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-10-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小岛大辉
申请人 ：
信越化学工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202111226057.X
主分类号 ：
C03C11/00
IPC分类号 ：
C03C11/00 C03B19/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C11/00
泡沫玻璃
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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