本发明提供一种表面分析装置。在进行相解析等的情况下，使分析者简便地进行簇区域的变形、分割、整合等作业，来实现减轻分析者的负担并改善作业效率。本发明所涉及的表面分析装置的一个方式具备：测定部(1、2、4、5、7、90)，其在试样上的多个位置处分别获取反映了作为分析对象的多个成分或元素的量的信号；散布图生成部(92)，其基于测定部的测定结果来生成散布图；聚类分析部(93)，其将散布图中的点进行聚类；以及簇区域检测部(94)，其基于由聚类分析部向散布图中的各点赋予的聚类信息，按每个簇求出顶点的数量为规定数量以下的多边形形状的簇区域边界信息。