本发明提供一种表面分析装置，能够避免在自动地对散布图上的点进行聚类时检测到伪簇，从而提高聚类的精度。本发明所涉及的表面分析装置的一个方式具备：测定部(1‑2、4‑8)，其在试样(3)上的多个位置处分别获取反映了作为分析对象的多个成分或元素的量的信号；散布图制作部(92)，其基于由测定部得到的测定结果来制作二元散布图；聚类分析部(94)，其使用基于密度的聚类分析的方法来对二元散布图中的点进行聚类；以及参数调整部(93)，其利用二元散布图中的某一方的成分或元素的信号值的值分布信息，来调整距离阈值，该距离阈值是在基于密度的聚类分析中应设定的参数之一。