MEMS热电堆传感器的测试方法及系统
授权
摘要
本发明涉及一种MEMS热电堆传感器的测试方法及系统。其包括微区光源以及显微成像系统，通过显微成像系统能观测到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息，并能根据所观察放大后的区域状态信息将微区光源产生的激光仅入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择的区域位置；利用微区光源对待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置进行所需的激光辐照后，采集待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出电压。本发明微区光源能精准定位，并实现对热电堆不同区域部位的直接辐照，以能获取热电堆不同区域部位的输出状态，从而为MEMS热电堆传感器的优化设计提供依据和指导。
基本信息
专利标题 ：
MEMS热电堆传感器的测试方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113820045A
申请号 ：
CN202111284620.9
公开（公告）日 ：
2021-12-21
申请日 ：
2021-11-01
授权号 ：
CN113820045B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
石梦毛海央刘洋周娜
申请人 ：
江苏创芯海微科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112
代理机构 ：
苏州国诚专利代理有限公司
代理人 ：
韩凤
优先权 ：
CN202111284620.9
主分类号 ：
G01K15/00
IPC分类号 ：
G01K15/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K15/00
温度计的测试或校准
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2022-01-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01K 15/00
申请日 : 20211101
申请日 : 20211101
2021-12-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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