物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置
实质审查的生效
摘要
物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能够同时实现高灵敏度化和粘着的降低。物理量传感器(1)包含基板(2)和可动体(3)，在可动体的第1质量部(34)的第1面(6)设置有在相邻的区域间设有阶梯差的第1～第n区域。在设第1～第n区域的离旋转轴(AY)远的一侧的端部为第1～第n端部、在可动体绕旋转轴进行了最大移位的状态下通过第1～第n端部中的2个端部且与X轴所成的角最小的假想直线为第1假想直线(VL1)、沿着第1固定电极(24)的主面的直线为第2假想直线(VL2)时，在与基板的第1固定电极的离旋转轴最近和最远的端部相交的第1和第2法线间的区域(RN12)中，第1与第2假想直线不交叉。
基本信息
专利标题 ：
物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114518471A
申请号 ：
CN202111348263.8
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2021-11-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
田中悟
申请人 ：
精工爱普生株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
李庆泽
优先权 ：
CN202111348263.8
主分类号 ：
G01P15/08
IPC分类号 ：
G01P15/08 G01P15/125 G01P15/14 G01P15/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/08
申请日 : 20211115
申请日 : 20211115
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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