物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体

授权

摘要

提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。

基本信息

专利标题：

物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN108169515A

申请号：

CN201711258636.6

公开（公告）日：

2018-06-15

申请日：

2017-12-04

授权号：

CN108169515B

授权日：

2022-05-03

发明人：

田中悟

申请人：

精工爱普生株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

张永明

优先权：

CN201711258636.6

主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

G01P15/125 G01P15/18