物理量传感器

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摘要

一种物理量传感器，将与所定方向(例如最大应力的外加方向)的应力(σ)平行的方向定义为横向、垂直的方向定义为纵向后，所述流量传感器的电阻器(7a、7b、8a、8b)，就具有横向电阻成分(Rl)和纵向电阻成分(Rt)。加给基板的应力σ加给横向的电阻成分Rl时的压电电阻系数πl，和应力σ加给纵向的电阻成分(Rt)时的压电电阻系数(πt)之比，是πl∶πl＝－n∶1(n为整数)时，将纵向的电阻成分(Rt)和横向的电阻成分Rl的电阻比，设定成与压电电阻系数πl与πt之比的绝对值大致相等。在确保强度的可靠性的同时，降低应力引起的电阻变化，提供高精度的物理量传感器。

基本信息

专利标题：

物理量传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1834592A

申请号：

CN200610005918.0

公开（公告）日：

2006-09-20

申请日：

2006-01-19

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

中野洋松本昌大山田雅通中田圭一渡边泉

申请人：

株式会社日立制作所

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

朱丹

优先权：

CN200610005918.0

主分类号：

G01F1/68

IPC分类号：

G01F1/68 F02D35/00 G01P5/12