用于处理低温带电粒子样本的系统和方法
公开
摘要

用于处理低温带电粒子样本的系统和方法。本发明涉及一种低温带电粒子(CCP)样本处理和储存系统。所述系统用于储存和处理用于在带电粒子显微法中使用的低温样本,例如用于在低温透射式电子显微法中使用的低温电子显微镜样本。所述系统包括用于储存多个CCP样本的储存设备,以及处于远离所述储存设备的位置处的带电粒子设备(CPA),例如低温TEM。系统进一步包括转移装置,其可以可释放地连接到所述储存设备,且也可以可释放地连接到所述CPA。如本文所限定,所述转移装置被布置成用于当连接到所述储存设备时从所述多个CCP样本获取CCP样本,且被布置成用于当连接到所述CPA时将所述CCP样本从所述转移装置转移到所述CPA。

基本信息
专利标题 :
用于处理低温带电粒子样本的系统和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114544683A
申请号 :
CN202111362600.9
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-11-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
V·多勒尔H·佩尔松J·米切尔斯
申请人 :
FEI公司
申请人地址 :
美国俄勒冈州
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
钟茂建
优先权 :
CN202111362600.9
主分类号 :
G01N23/2251
IPC分类号 :
G01N23/2251  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/225
利用电子或离子微探针
G01N23/2251
使用入射电子束,例如扫描电子显微镜
法律状态
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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