一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法，包括如下步骤：Y1、初始参数组的设定；Y2、制备双层膜；Y3、极值波长的确定；Y4、形成数据表；Y5、建立表达式；Y6、厚度计算；Y7、均匀性分析；该方法采用简单的膜系结构，能够同时完成两种不同材料薄膜的均匀性计算，显著提高膜厚均匀性修正的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114264240A
申请号 ：
CN202111398137.3
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-11-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李定李钱陶熊长新郝力凯金天义
申请人 ：
华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区雄楚大街981号
代理机构 ：
武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
范三霞
优先权 ：
CN202111398137.3
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20211124
申请日 : 20211124
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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