一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，涉及紫外光技术，包括：脉冲电源、连接器、电极垫、高压电极、第一石英介质层、微腔、气体填充室、第二石英介质层、低压电极、中空石英框、进气口、改性小球、镂空支撑柱，准分子灯在内部气体被电离时，可以产生波长范围很窄的紫外光谱，并且波长选择性好，紫外光辐照面积大，克服了汞灯在紫外应用中的缺点，能有效应用于废水废气处理、刻蚀、材料表面改性、薄膜沉积等领域。
基本信息
专利标题 ：
一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114373671A
申请号 ：
CN202111446316.X
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李少哲陈庆禧戴亦阳胡嘉忆宋凯刘新
申请人 ：
南京林业大学
申请人地址 ：
江苏省南京市龙蟠路159号
代理机构 ：
北京力致专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
朱静谦
优先权 ：
CN202111446316.X
主分类号 ：
H01J65/00
IPC分类号 ：
H01J65/00 H01J61/30
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J65/00
管壳内无任何电极的灯；管壳外至少有一个主电极的灯
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 65/00
申请日 : 20211130
申请日 : 20211130
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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