一种提高Trench肖特基抗沾污能力的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种提高Trench肖特基抗沾污能力的方法。在原有Trench肖特基生产基础上增加一步新的流程，解决接触孔层沾污对势垒的影响，有效提高期间可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种提高Trench肖特基抗沾污能力的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114284145A
申请号 ：
CN202111489479.6
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
曲亮
申请人 ：
厦门吉顺芯微电子有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市集美区集美北部工业区环珠路501号
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈明鑫
优先权 ：
CN202111489479.6
主分类号 ：
H01L21/329
IPC分类号 ：
H01L21/329 H01L29/06
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18
器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/328
制造双极型器件，例如二极管、晶体管、晶闸管的台阶式工艺
H01L21/329
包括1个或两个电极的器件，例如二极管
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/329
申请日 : 20211208
申请日 : 20211208
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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