本申请涉及真空泄漏检测技术领域，具体而言，涉及一种多组分质谱泄漏检测装置，包括累积检漏法组件、质谱分析组件、动态检漏法组件以及抽空机组，其中：累积检漏法组件包括累积检漏法接口、累积检漏室以及第一真空计；质谱分析组件包括质谱分析室、四极质谱计以及第二真空计；动态检漏法组件包括动态检漏法接口、动态检漏室以及第三真空计；抽空机组包括涡轮分子泵、吸附泵以及前级机械泵。本申请可以实现多种组分示漏气体的测量，可以满足微小、中等、较大漏率等现有密封器件工业生产过程中的全范围漏率检测需求，既可以提高检测效率，又可以避免较大漏率对微小漏率的干扰，提高产品抗示漏气体中毒能力。