本实用新型提供一种质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，质谱检漏设备包括：支撑架、真空腔体、升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构、质谱检漏装置及控制装置。真空腔体设置为至少两个，且各真空腔体均放置在支撑架上，各真空腔体内设置有用于容纳待测箱体的容纳腔。升降机构设用于分别驱动所对应的各真空腔体的结合与分离。示踪气体源用于向待测箱体提供示踪气体。质谱检漏装置与真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的示踪气体含量，从而判断待测箱体是否合格。控制装置与升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构及质谱检漏装置电连接以控制各自的工作。本实用新型质谱检漏设备的检漏耗时减少，工作效率提高。