基于全景分割的半导体自动分区方法
授权
摘要

本发明属于半导体缺陷检测与图像处理技术领域,具体涉及一种基于全景分割的半导体自动分区方法,本方法基于全景分割网络,首先收集若干产品的模板数据作为全景分割网络的训练数据,模板数据包含模板图片和mask图片;将mask图片中材质定义为stuff,在模板图片上任意位置生成随机大小的颜色块,并将颜色块映射到mask图片上定义为things;其次采用训练数据训练全景分割网络,得到可以进行半导体自动分区建模的全景分割网络。将带分区图片输入该全景分割网络即可得到分区模板,该方法可以解决传统分区方案中调参繁琐、结构适应性弱、分区耗时等问题。

基本信息
专利标题 :
基于全景分割的半导体自动分区方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113902765A
申请号 :
CN202111508151.4
公开(公告)日 :
2022-01-07
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
CN113902765B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
糜泽阳张记霞郑军
申请人 :
聚时科技(江苏)有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区4号楼5楼东侧
代理机构 :
武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨建军
优先权 :
CN202111508151.4
主分类号 :
G06T7/11
IPC分类号 :
G06T7/11  G06T7/12  G06T7/13  G06T7/187  G06T5/00  G06T1/20  G06N5/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T5/00
图像的增强或复原
G06T5/50
通过使用多于一幅图像的,例如平均、减少
G06T7/11
区域分割
法律状态
2022-04-12 :
授权
2022-01-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06T 7/11
申请日 : 20211210
2022-01-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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