一种半导体圆晶分割装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及半导体圆晶加工技术领域,且公开了一种半导体圆晶分割装置,包括底座,所述底座的右立面固定安装有电控箱,所述电控箱的顶部固定安装有控制面板,所述底座的顶部右侧固定安装有电机二,所述电机二的输出轴固定连接有丝杆二,所述丝杆二的螺纹区适配套接有安装平板,所述安装平板的顶部固定安装有工作平台,所述工作平台的前立面上开设有螺纹孔。该种半导体圆晶分割装置,当完成圆晶的切割后,在更换新工件时,只需将圆晶限位槽与限位柱相对应安装,并通过气孔的真空负压将之吸附在工作平台的工作位,由于是统一规格的圆晶,因此,无需在切割前再次对位,避免反复对每片圆晶进行重新定位。

基本信息
专利标题 :
一种半导体圆晶分割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020980450.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-02
授权号 :
CN212412007U
授权日 :
2021-01-26
发明人 :
田梦晓
申请人 :
苏州本基自动化机械有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区横泾街道尧南路24号
代理机构 :
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 :
姬春红
优先权 :
CN202020980450.2
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/683  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-17 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20200602
授权公告日 : 20210126
终止日期 : 20210602
2021-01-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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