一种基于近场散斑的曲面波前与面形高精度检测方法
公开
摘要
本发明涉及光学检测技术，尤指一种对大曲率X射线波前和大曲率X射线光学元件面形进行高精度检测的基于近场散斑的波前检测技术；所述的检测技术利用散斑在其“近场”区域不发生形变的特性来追踪光线轨迹，根据光线的偏折角度，即待测波前的一阶导数来恢复波前；光线落点的位移分为整像素位移和亚像素位移，其中整像素位移采用XST技术快速测量，亚像素位移采用XSS技术精确测量；本发明的角度灵敏度可达纳弧度水平，空间分辨力达到探测器像素尺寸水平，角度测量范围达到数十微弧度，在保持检测精度的前提下，大幅减少检测所需数据量和检测时长。
基本信息
专利标题 ：
一种基于近场散斑的曲面波前与面形高精度检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114295082A
申请号 ：
CN202111510919.1
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李凡康乐杨福桂李明
申请人 ：
散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区总部二路2号光大数字家庭（推广名：光大we谷）一区1栋1号楼1316号房
代理机构 ：
广东众达律师事务所
代理人 ：
张雪华
优先权 ：
CN202111510919.1
主分类号 ：
G01B15/04
IPC分类号 ：
G01B15/04 G01T1/29
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B15/00
以采用波或粒子辐射为特征的计量设备
G01B15/04
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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