小陡度凹凸面光学自由曲面面形检测系统及检测方法
实质审查的生效
摘要

小陡度凹凸面光学自由曲面面形检测系统及检测方法,涉及自由曲面光学检测技术领域,本发明为解决小陡度凹凸面光学自由曲面的全频段像差检测中动态范围与检测精度不可兼得这一矛盾,进而解决小陡度凹凸面光学自由曲面高精度检测问题。基于相位恢复算法和子孔径拼接算法的横向平移差异相位恢复和计算机辅助逆哈特曼法协同测量小陡度凹凸面光学自由曲面全频段像差检测方法。本发明将高频段像差测量比较准确的计算机辅助反向哈特曼检测法和中低频段像差测量比较准确的横向平移差异相位恢复法相结合,通过Zernike多项式拟合的方式进行小陡度凹凸面光学自由曲面全频段像差检测,从而弥补现在小陡度凹凸面光学自由曲面全频段像差检测方法的不足。

基本信息
专利标题 :
小陡度凹凸面光学自由曲面面形检测系统及检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353696A
申请号 :
CN202210016846.9
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马鑫雪王建立王斌陈玉强刘欣悦
申请人 :
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 :
吉林省长春市东南湖大路3888号
代理机构 :
长春众邦菁华知识产权代理有限公司
代理人 :
朱红玲
优先权 :
CN202210016846.9
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20220107
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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