大陡度凸面光学自由曲面高频段像差检测系统及检测方法
实质审查的生效
摘要

大陡度凸面光学自由曲面高频段像差检测系统及检测方法,涉及自由曲面光学检测技术领域,本发明为解决大陡度凸面光学自由曲面高频段像差检测这一技术难题,进而指导自由曲面光学元件在研磨向抛光过渡阶段的面形加工,实现精研磨阶段尽可能多的去除面形残差,提高光学自由曲面加工的收敛效率,最终为高精度、高性能的光学自由曲面加工及检测提供技术支持。本发明包括高频段像差检测系统、计算机处理系统和光路夹持与装调系统;光路夹持与装调系统用于对高频段像差检测系统进行调整;本发明所述的检测系统结构简单,造价便宜,测量精度高,测量斜率的动态范围大,而且空间分辨率高,可以测量干涉仪和哈特曼检测无法测量的大数值斜率问题。

基本信息
专利标题 :
大陡度凸面光学自由曲面高频段像差检测系统及检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353699A
申请号 :
CN202210024320.5
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马鑫雪王建立王斌刘欣悦
申请人 :
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 :
吉林省长春市东南湖大路3888号
代理机构 :
长春众邦菁华知识产权代理有限公司
代理人 :
朱红玲
优先权 :
CN202210024320.5
主分类号 :
G01B11/25
IPC分类号 :
G01B11/25  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
G01B11/25
通过在物体上投影一个图形,例如莫尔条纹
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/25
申请日 : 20220107
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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