光学自由曲面中低频段像差检测装置及方法
实质审查的生效
摘要
光学自由曲面中低频段像差检测装置及方法,涉及光学自由曲面检测技术领域,本发明采用基于横向平移差异相位恢复检测光学自由曲面中低频段像差的方法,设计一种兼顾高精度和大测量范围的光学自由曲面中低频段像差检测系统,以解决传统干涉仪无法检测非轴对称、非旋转对称的自由曲面这一难题。指导自由曲面光学元件在研磨阶段的面形加工,最终为高精度、高性能的光学自由曲面加工及检测提供技术支持。包括中低频段像差检测系统、光瞳图像监测系统、面形误差重构系统和光路夹持与装调系统;本发明装置辅以高精度振镜微调,实现整个自由曲面中低频段像差的高精度测量。有效地解决了自由曲面检测中动态范围与检测精度不可兼得的矛盾。
基本信息
专利标题 :
光学自由曲面中低频段像差检测装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353694A
申请号 :
CN202210016752.1
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马鑫雪王建立王斌刘欣悦
申请人 :
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 :
吉林省长春市东南湖大路3888号
代理机构 :
长春众邦菁华知识产权代理有限公司
代理人 :
朱红玲
优先权 :
CN202210016752.1
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20220107
申请日 : 20220107
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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