一种原子探针设备和透射电子显微镜联用的多样品台
公开
摘要
本发明为一种原子探针设备和透射电子显微镜联用的多样品台。样品台包括螺丝锁紧机构和自锁机构两种。其中，螺丝锁紧机构包括圆柱形尾柱，鳄式开口夹和紧固螺丝；自锁机构包括圆柱形尾柱、反向镊子和平头夹板。本发明的样品台优化了纳米针尖试样的装载方式，可以同时装载多根纳米针尖试样，极大提高了利用透射电子显微镜检查纳米针尖试样的工作效率，并保证了纳米针尖在透射电子显微镜和原子探针设备之间转移的安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种原子探针设备和透射电子显微镜联用的多样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114295865A
申请号 ：
CN202111557558.6
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘吉梓张瑞升卢阳光靳慎豹石磊
申请人 ：
南京理工大学
申请人地址 ：
江苏省南京市孝陵卫街200号
代理机构 ：
南京理工大学专利中心
代理人 ：
赵毅
优先权 ：
CN202111557558.6
主分类号 ：
G01Q30/00
IPC分类号 ：
G01Q30/00 G01Q60/24 G01N23/04 H01J37/20 H01J37/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q30/00
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段，例如显示或数据处理装置
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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