一种基于振镜系统的激光光束抖动校正装置与方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于振镜系统的激光光束抖动校正装置与方法,解决了现有离线测量无法校正加工过程中出现的激光光束指向不稳定现象以及从激光前端完成校正后,无法避免在加工过程中外部环境及后续的光学器件对激光光束的影响,该校正装置包括取样镜、第一聚焦镜、分光镜、第二聚焦镜,第一PSD和第二PSD;取样镜用于将振镜系统的出射光束分束为一路反射加工光和一路透射检测光;反射加工光同过第一聚焦镜聚焦于待加工目标上;透射检测光经过分光镜反射后被第一PSD接收;透射检测光经过分光镜透射后经过第二聚焦镜被第二PSD接收;取样镜到第一PSD的距离,与取样镜到待加工目标表面的距离相等,使得第一PSD和待加工目标表面形成光程共轭。
基本信息
专利标题 :
一种基于振镜系统的激光光束抖动校正装置与方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114273775A
申请号 :
CN202111590272.8
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-12-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李明李珣
申请人 :
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址 :
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
代理机构 :
西安智邦专利商标代理有限公司
代理人 :
唐沛
优先权 :
CN202111590272.8
主分类号 :
B23K26/042
IPC分类号 :
B23K26/042 G02B26/08
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/02
工件的定位和观测,如相对于冲击点;激光束的对正、瞄准或聚焦
B23K26/04
激光束的自动校准、瞄准或聚焦,如应用反向散射光
B23K26/042
激光束的自动校准
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/042
申请日 : 20211223
申请日 : 20211223
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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