一种静态聚焦的玻璃纳秒激光切孔系统及切孔方法
实质审查的生效
摘要

本发明属于本发明属于激光加工领域,一种静态聚焦的玻璃纳秒激光切孔系统,包括激光器、以及在激光束传播路径上依次设置的准直扩束镜、反射镜、2D数字振镜、聚焦场镜和动态调焦装置,其中激光器,用于发射激光脉冲;准直扩束镜,用于调整激光束直径和光束准直;反射镜,用于将激光器发射的激光束导入数字振镜;2D数字振镜及控制板卡,用于控制激光束在xy平面内的高精度高速度扫描;聚焦场镜,用于一定幅面内激光束的高质量聚焦与垂直入射;动态调焦装置,用于聚焦平面在玻璃厚度方向上的精准定位与移动。本系统可解决玻璃切孔质量差、切割效率低、以及6‑15mm大厚度玻璃激光切割困难的问题。本发明还提出一种静态聚焦的玻璃纳秒激光切孔方法。

基本信息
专利标题 :
一种静态聚焦的玻璃纳秒激光切孔系统及切孔方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114535788A
申请号 :
CN202111592306.7
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-12-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张国军荣佑民黄禹梁雨峰
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
北京集智东方知识产权代理有限公司
代理人 :
吴倩
优先权 :
CN202111592306.7
主分类号 :
B23K26/06
IPC分类号 :
B23K26/06  B23K26/064  B23K26/0622  B23K26/082  B23K26/382  B23K103/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/02
工件的定位和观测,如相对于冲击点;激光束的对正、瞄准或聚焦
B23K26/06
激光束的成形,例如,利用掩膜或多次聚焦
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/06
申请日 : 20211223
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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