本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法。工件台测试方法，利用框架标定工装上的第一平面光栅替代整机框架上的平面光栅模块，为读数头的信号提供参考基准，对工件台进行测试，判断工件台是否合格。平面光栅测试方法，利用测试合格的离线测试台代替工件台，对整机框架上的平面光栅模块进行测试，判断工件台是否合格。系统测试方法包括上述工件台测试方法和上述平面光栅测试方法。本发明提供的工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法，在测试时，不易损害平面光栅模块中的大尺寸异形平面光栅，从而，降低了整机的制造成本。