低相干光三片混合集成式角速度检测系统及方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种低相干光三片混合集成式角速度检测系统及方法。本发明中利用谐振腔在不同旋转角速度下具有不同的滤波特性,通过检测顺、逆时针光束经过谐振腔后光功率的变化来实现角速度的检测。本发明采用了混合集成的思路将低相干光源及光电探测器模块、耦合器及推挽式Y分支模块、光波导谐振腔模块异质集成到同一硅基底上。本发明中利用低相干光源作为系统光源,降低了包括偏振噪声在内的许多光学寄生效应,从而提高了角速度检测系统的精度及其稳定性;同时采用三片混合集成的方式,极大的减小了系统的体积,符合小型化的发展趋势。
基本信息
专利标题 :
低相干光三片混合集成式角速度检测系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114280321A
申请号 :
CN202111597250.4
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
刘霜刘路马慧莲
申请人 :
浙江大学
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 :
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 :
郑海峰
优先权 :
CN202111597250.4
主分类号 :
G01P3/36
IPC分类号 :
G01P3/36
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量;运动的存在或不存在的指示;运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S;核辐射速度的测量入G01T)
G01P3/00
线速度或角速度的测量;线速度或角速度差值的测量
G01P3/36
按所用的光学方法为特征的装置,例如利用红外光、可见光或紫外光
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 3/36
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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