本发明公开了一种提高镀膜层附着力的工艺，属于气相沉积技术领域，目前的派瑞林镀膜层前期偶联剂附着不均匀，且气相沉积时镀膜层厚度不均匀，导致镀膜层附着力低，容易脱落，本方案包括如下步骤：将工件进行清洗；将工件放入烘箱中，烘干清理工件表面的吸附的水汽；将工件放入涂覆机的蒸镀反应罐内；将反应罐密闭，并抽真空将硅烷偶联剂通过海绵吸附，将海绵投入反应罐内，按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂；将派瑞林加入反应罐内，按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林；系统放气、取出工件。硅烷偶联剂通过海绵吸附，增加分布面积，蒸汽均匀分布到反应罐腔室内，使得偶联剂均匀蒸涂在工件表面，然后再气相沉积涂覆派瑞林，提高镀膜层的附着力。