一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器，MEMS谐振式加速度传感器由谐振器敏感梁通过杠杆机构与质量块连接形成，能够将外界加速度变化转化为频率偏移量以检测外界加速度的大小。MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器对称分布在加热模块的两侧，加热模块的加热梁通过电流产生电阻热，电阻热通过对称结构传递至MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器。将感温振荡器作为温度感知模块，用其频率来标定温度实现对加速度传感器的温度控制。
基本信息
专利标题 ：
一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280328A
申请号 ：
CN202111605043.9
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
韦学勇徐铭柯徐柳齐永宏
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
高博
优先权 ：
CN202111605043.9
主分类号 ：
G01P15/097
IPC分类号 ：
G01P15/097 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/097
采用振动元件
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/097
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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