一种半导体级氨水的制备方法
公开
摘要
本发明提供了一种半导体级氨水的制备方法，包括液氨、减压设备、精馏设备、热回收设备、二次精馏设备、冷凝设备和过滤设备。本发明中减压设备连接精馏设备，进行初步加热精馏，精馏后通过冷凝设备进行冷却，热回收设备回收加热精馏热能，进行一定加热回温；初步加热精馏氨水进入二次精馏设备中进行二次加热精馏，热回收设备回收热能进行一定加热回温后连接二次加热精馏设备中进行加热提供热能，二次精馏后通过冷凝设备再次冷凝，得到精馏氨水，能够有效回收利用热能，只需要少量加热，即可完成后续加热，更加节能。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体级氨水的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114272632A
申请号 ：
CN202111607197.1
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘颂军孙炜吕国文冯亚楠杨杰郭双环金旭
申请人 ：
信联电子材料（山东）有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市德城区运河街道办事处中联大道恒力电机东临第一间
代理机构 ：
深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘飞
优先权 ：
CN202111607197.1
主分类号 ：
B01D3/14
IPC分类号 ：
B01D3/14 C01C1/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D3/00
蒸馏或相关的在液体同气体介质相接触的过程中发生交换的方法，例如汽提
B01D3/14
分馏
法律状态
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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