本发明公开了一种用于硅料的隧道式烘干装置，其结构包括机架，机架从左到右依次设有上料区、切水区、烘干区、冷却区以及下料区，上料区和下料区之间设有循环传送的传送带，其结构还包括若干传送花篮以及设置在传送带上方的轨道，轨道的两端分别延伸在上料区、下料区的外侧，传送带的表面设有若干固定传送花篮的夹紧件，传送花篮的两侧设有卡在轨道内部的行走轮，行走轮和传送花篮底部之间的距离等于轨道和传送带之间的距离，行走轮的中心位置设有垂直向下的主动转杆，传送花篮的内部设有可转动的从动转杆，从动转杆从上到下分布有若干物料托盘，从动转杆和主动转杆之间连接有啮合件，本发明提高了硅料清洗、烘干、冷却的效率。