具有改良衬底结构的兰姆波声波器件及其制作方法
公开
摘要
本发明公开了一种具有改良衬底结构的兰姆波声波器件及其制作方法。所述兰姆波声波器件包括衬底(1)、压电单晶薄膜(4)和电极(5)，所述衬底(1)上形成有排气槽(2)和空腔(3)，所述压电单晶薄膜(4)至少覆盖所述空腔(3)，所述排气槽(2)与设置在所述兰姆波声波器件表面的开口连通。本发明提供的兰姆波声波器件具有高频、大机电耦合系数、高品质因子等特点，且制备工艺可靠，其中通过在衬底上增设排气槽，能够使键合及退火过程中产生的气体及时排出，改善键合质量，提高产品良率。
基本信息
专利标题 ：
具有改良衬底结构的兰姆波声波器件及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114301412A
申请号 ：
CN202111638591.1
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
潘峰
申请人 ：
苏州达波新材科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区38幢3-6室
代理机构 ：
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王锋
优先权 ：
CN202111638591.1
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H3/02 H03H9/13
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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