电子、空穴传输通道分离的碲化镉探测器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种电子、空穴传输通道分离的碲化镉探测器的制备方法，包括：提供一衬底，在衬底的两面涂覆光刻胶掩膜层；提供一掩膜版，掩膜版具有曝光窗口，利用曝光窗口在衬底的两面裸露出待掺杂区域；在衬底两面的待掺杂区域通过离子注入设备注入掺杂离子，以在衬底中构建N型电子传输通道，形成周期性的PN结构。本发明通过双面离子注入法在P型碲化镉晶体中构建两面贯通的N型电子传输通道，使得电子的传输与空穴的传输在空间上得到分离,以有效地避免载流子复合的问题，弱化载流子复合与空穴拖尾效应对衰减常数的影响，提高探测器影像质量。
基本信息
专利标题 ：
电子、空穴传输通道分离的碲化镉探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114267745A
申请号 ：
CN202111646330.4
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
卢王威朱蓉辉陈成张珍珍穆怀慈李德亮
申请人 ：
材料科学姑苏实验室
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区若水路388号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李柏柏
优先权 ：
CN202111646330.4
主分类号 ：
H01L31/0352
IPC分类号 ：
H01L31/0352 H01L31/18 H01L27/146
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0352
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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